特許
J-GLOBAL ID：200903073965184204
びんのコーティング膜厚測定装置及びコーティング膜厚測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石川 泰男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-206013
公開番号（公開出願番号）：特開平9-053920
出願日： 1995年08月11日
公開日（公表日）： 1997年02月25日
要約：
【要約】【課題】 びんのコーティング膜を非接触で容易に全数検査することができるとともに、約60〜200nm程度の厚さのコーティング膜厚を測定する。【解決手段】 コーティング膜が施されたびん4のコーティング膜の膜厚を測定するコーティング膜の膜厚を測定するコーティング膜厚測定装置において、測定光照射手段3は、びん4に対し、所定のスペクトル分布を有する測定光Lを照射し、撮像手段5は、測定光Lのびんによる反射光LR を撮像して撮像信号Vを算出手段6に出力し、算出手段6は、撮像信号Vに対応するスペクトル分布と、予め膜厚に対応して設定した基準スペクトル分布に基づいてコーティング膜の膜厚を算出するので、非接触で容易、高速、確実にコーティング膜の膜厚を測定することができる。
請求項（抜粋）：
コーティング膜が施されたびんの前記コーティング膜の膜厚を測定するコーティング膜厚測定装置において、前記びんに対し、所定のスペクトル分布を有する測定光を照射する測定光照射手段と、前記測定光の前記びんによる反射光を撮像して撮像信号を出力する撮像手段と、前記撮像信号に対応するスペクトル分布と、予め膜厚に対応して設定した基準スペクトル分布に基づいて前記コーティング膜の膜厚を算出する算出手段と、を備えたことを特徴とするびんのコーティング膜厚測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/06
, G01N 21/84
, G01N 21/90
G01B 11/06 H
, G01N 21/84 E
, G01N 21/90 A
