特許
J-GLOBAL ID：200903074013804973
水晶振動片のエッチング方法とエッチング装置及びエッチング用の水晶片の収容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-000929
公開番号（公開出願番号）：特開2001-072497
出願日： 2000年01月06日
公開日（公表日）： 2001年03月21日
要約：
【要約】【課題】 環境を汚染することなくエッチング中に水晶片が浮くことを防止し、全体に均一な高精度のエッチング処理を行うことができる水晶振動片のエッチング方法とエッチング装置を提供すること。【解決手段】 水晶片1を少なくともフッ酸を含むエッチング液12にてエッチング処理する方法において、エッチング液を収容したエッチング漕11内に水晶片を投入し、この水晶片を強制的にエッチング液内に沈める手段15により水晶片をエッチング液内に浸漬させてエッチング処理を行う。
請求項（抜粋）：
水晶片を少なくともフッ酸を含むエッチング液にてエッチング処理する方法において、エッチング液を収容したエッチング漕内に水晶片を投入し、この水晶片を強制的にエッチング液内に沈める手段により水晶片をエッチング液内に浸漬させてエッチング処理を行うことを特徴とする、水晶振動片のエッチング方法。
IPC (6件)：
C30B 29/18
, B65D 85/38
, C30B 33/10
, H01L 21/306
, H01L 41/09
, H03H 3/02
C30B 29/18
, C30B 33/10
, H03H 3/02 B
, H03H 3/02 A
, B65D 85/38 C
, H01L 21/306 D
, H01L 41/08 C
