特許
J-GLOBAL ID：200903074079791783
恒温式測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-139821
公開番号（公開出願番号）：特開平6-331694
出願日： 1993年05月20日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【目的】 被測定物の恒温状態での電気特性の測定において、液体を用いず気中にて被測定物を恒温状態に保ち、かつ高速に測定することを可能とする。【構成】 室内の気体を一定温度に維持した恒温室2の内部を複数個の測定ブロック10に区画し、各測定ブロック10に恒温液体が循環する循環パイプを内部に有する良熱伝導性の恒温プレートを設け、該恒温プレート上に良熱伝導性の被測定物載置ブロックを配設し、該被測定物載置ブロックに被測定物としての電子部品1を載置して電気特性の測定を行う構成である。
請求項（抜粋）：
室内の気体を一定温度に維持した恒温室の内部に、恒温液体が循環する循環パイプを内部に有する良熱伝導性の恒温プレートを設け、該恒温プレート上に良熱伝導性の被測定物載置ブロックを配設し、該被測定物載置ブロックに被測定物を載置することを特徴とする恒温式測定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (5件)
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特開昭62-169062
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特開昭62-127677
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特開昭63-030771
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