特許
J-GLOBAL ID：200903074084248303
スパッタ装置用電源
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-321385
公開番号（公開出願番号）：特開平7-150348
出願日： 1993年11月26日
公開日（公表日）： 1995年06月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明はタ-ゲットの材質或は形状に無関係に電弧の発生、及び異常放電を防止せしめる電源の提供を目的とする。【構成】 本発明はスパッタを行うための真空室内のタ-ゲットに直流電圧、電力(パワ-)を供給する電源の出力部に前記電源と逆極性のパルスを重畳せしめ、該逆パルスの電圧及び周波数を任意に調整することにより電弧或は異常放電を消弧するように構成したものである。
請求項（抜粋）：
スパッタを行うための真空室内のタ-ゲットに直流電圧、電力(パワ-)を供給する電源の出力部に前記電源と逆極性のパルスを重畳せしめ、該逆パルスの電圧及び周波数を任意に調整することにより電弧或いは異常放電を消弧するように構成したことを特徴とするスパッタ装置用電源。
IPC (2件)：
引用特許：
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