電圧測定装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-195385
公開番号（公開出願番号）：特開平8-062255
出願日： 1994年08月19日
公開日（公表日）： 1996年03月08日
要約：

【要約】【目的】被測定電気信号に何ら変調を与えることなく、E-O効果を変調することにより、被測定電気信号を高いS/N比で測定することが可能な電圧測定装置を提供する。【構成】 E-Oプローブ39を構成する電気光学材料は、半導体レーザ35からの光に対する屈折率が被測定デバイス31からの電界に応じて変化する。また、Ar+ レーザ41からの光の入射によってこの電気光学効果が実質的に解消される。メカニカルチョッパー42はこのAr+ レーザ41の出射光に変調を加え、E-Oプローブ39に入射する。ロックインアンプ43はこの変調に同期し、E-Oプローブ39で反射した光の偏光状態を検出し、被測定デバイス31の電圧を測定する。

請求項（抜粋）：

第1の光に対する屈折率が印加電界に応じて変化する電気光学効果を持ちかつ第2の光の入射によってこの電気光学効果が解消される電気光学材料からなるプローブと、このプローブへ前記第1の光を照射する第1の光源と、前記プローブへ前記第2の光を照射する第2の光源と、前記第2の光に変調を加える変調手段と、前記プローブで反射した前記第1の光の偏光状態を前記第2の光の変調に同期して検出して被測定デバイスの電圧を測定する計測手段とを備えたことを特徴とする電圧測定装置。

IPC (2件)：

G01R 15/24 , G02F 1/03 505

引用特許：

出願人引用 (5件)

特開平1-121766
空間光変調素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-002713 出願人：株式会社ニコン
特開平2-184559

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