特許

J-GLOBAL ID：200903074126074882

外観検査方法及び外観検査装置

発明者： 井上 佳代
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 堀口 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-199044
公開番号（公開出願番号）：特開2007-017283
出願日： 2005年07月07日
公開日（公表日）： 2007年01月25日
要約：

【課題】 被検査物の分布形状及び位置を特定可能な外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】 基板上のペーストを画像として撮影し、第1の画像データを得る工程(S11)、基板の重心位置を算出する工程(S12)、ノイズ除去(S13)、第1の画像データを2値化する工程(S14)、2値化された第2の画像データの塊の面積、最大及び最小のフィレ径、及び重心を算出する工程(S15)、面積最大の塊を抽出(S16)、この塊が第1の基準値に適合するかを判定する工程(S17)、この塊のフィレ径比が第2の基準値に適合するかを判定する工程(S18)、最大の塊の重心位置を算出する工程(S19)、最大の塊の重心位置と基板の重心位置との距離が第3の基準値に適合するかを判定する工程(S20)、及び最大の塊の重心位置を後続の工程に送出する工程(S21)とを備えている。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

基板及び前記基板の表面に設けられた被検査物を画像として撮影し、第1の画像データを得る工程と、 前記第1の画像データから前記基板の位置を特定し、前記基板の重心位置を算出する工程と、 しきい値に基づき前記第1の画像データを2値化して第2の画像データとする工程と、 前記2値化された第2の画像データの一方の値に対応する前記被検査物に相当する塊の物理的特徴量を算出する工程と、 前記物理的特徴量の内の面積が最大となる塊を抽出し、前記面積最大の塊の面積が第1の基準値に適合するかどうかを判定する工程と、 前記面積最大の塊の最大フィレ径の最小フィレ径に対するフィレ径比を算出し、前記フィレ径比が第2の基準値に適合するかどうかを判定する工程と、 前記面積最大の塊の重心位置を幾何学的形状サーチにて算出する工程と、 前記面積最大の塊の重心位置と前記基板の重心位置との距離を算出し、前記距離が第3の基準値に適合するかどうかを判定する工程と、 前記面積最大の塊の重心位置を後続の工程に送出する工程と、 を備えていることを特徴とする外観検査方法。

IPC (5件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/956 ,  G01B 11/00 ,  G06T 1/00 ,  G06T 5/00

FI (5件)：

G01B11/24 K ,  G01N21/956 B ,  G01B11/00 H ,  G06T1/00 305Z ,  G06T5/00 300

Fターム (72件)：

2F065AA03 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA51 ,  2F065AA58 ,  2F065BB05 ,  2F065CC17 ,  2F065CC25 ,  2F065DD04 ,  2F065FF01 ,  2F065FF04 ,  2F065GG13 ,  2F065GG17 ,  2F065HH12 ,  2F065HH18 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065LL06 ,  2F065PP12 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ06 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ27 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ39 ,  2F065QQ42 ,  2F065QQ43 ,  2F065RR05 ,  2F065RR09 ,  2F065UU05 ,  2G051AA51 ,  2G051AA61 ,  2G051AB13 ,  2G051AB14 ,  2G051AB20 ,  2G051BA01 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA07 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA23 ,  2G051EB01 ,  2G051EB02 ,  2G051EC02 ,  2G051ED07 ,  2G051ED23 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE02 ,  5B057CE12 ,  5B057CH20 ,  5B057DA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC06 ,  5B057DC23

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 被検査物体の検査装置及び被検査物体の検査方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-322413   出願人：日本電気株式会社