特許

J-GLOBAL ID：200903085414096299

被検査物体の検査装置及び被検査物体の検査方法

発明者： 長尾 政彦
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 畑 泰之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-322413
公開番号（公開出願番号）：特開平10-160426
出願日： 1996年12月03日
公開日（公表日）： 1998年06月19日
要約：

【要約】【課題】 物体の外観形状、或いは配置位置等を精度よく検査する事が出来る被検査物体の検査装置及び被検査物体の検査方法を提供する。【構成】 被検査物体1に照射光を照射する第1の照明手段2、被検査物体1の周囲から被検査物体1に照射光を照射する第2の照明手段3、第1と第2の照明手段2、3の少なくとも一方から出射された照射光による被検査物体1からの反射光を取り込む受光手段4、受光手段4から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換して画像処理し、所定のレベル以上の強度を有する反射光が存在する部位を抽出する画像処理手段20、画像処理手段20に記憶されたデータから、被検出物体1の特性値を演算する特性値演算手段10、特性値演算手段10から得られる特性値を基準特性値データと比較し、被検出物体1の良否を判別する比較判定手段11とからなる被検査物体の検査装置30。

請求項（抜粋）：

被検査物体の載置手段、当該被検査物体の底面に対する法線に沿って当該被検査物体に所定の照射光を照射する第1の照明手段、当該法線とは所定の角度をなす方向に沿って且つ当該被検査物体の周囲から当該被検査物体に所定の照射光を照射する第2の照明手段、当該被検査物体の底面に対する法線方向に配置されており、当該第1の照明手段及び当該第2の照明手段の少なくとも一方の照明手段から出射された照射光による当該被検査物体表面からの反射光を画像として取り込む受光手段、当該受光手段から出力されるアナログ信号をデジタル信号に変換するアナログ/デジタル変換手段、当該アナログ/デジタル変換手段から出力されるデジタル信号に基づいて当該反射光のうち、所定のレベル以上の強度を有する当該反射光が存在する部位を抽出してその位置データを記憶する画像処理手段、当該画像処理手段に記憶された当該位置データから、被検出物体に関する特性値を演算する特性値演算手段、該特性値演算手段から得られる被検出物体に関する特性値を予め定められた基準特性値データと比較し、当該被検出物体の良否を判別する比較判定手段とから構成されている事を特徴とする被検査物体の検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/24 ,  G01B 11/00 ,  G06T 7/00

FI (3件)：

G01B 11/24 C ,  G01B 11/00 H ,  G06F 15/62 405 A

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 物体の形状検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-319041   出願人：株式会社豊田中央研究所, トヨタ自動車株式会社
• 特開昭62-174889
  
• 突起部検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-010263   出願人：日本電気株式会社