特許

J-GLOBAL ID：200903074133477631

真空気密容器

発明者： 伊藤 茂生 ,  利根川 武 ,  横山 三喜男 ,  内田 裕治
出願人/特許権者： 双葉電子工業株式会社
代理人 (1件)： 脇 篤夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245123
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069347
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】 真空気密容器内の真空度をより正確にモニターする。【解決手段】 カソード基板101上には電界放出アレイにより構成されたイオン化用電子放出部112が形成されており、該カソード基板101に対向して配置されたアノード基板108上にはアノード電極106、電子加速電極110およびイオンコレクター電極111が形成されている。このような構成において、イオン化用電子放出部112から放出された電子が容器内部の残留ガスに衝突することによりイオンが発生する。このイオンの量は残留ガスの濃度に比例しており、所定の負電位が印加されたイオンコレクター電極111により、該発生したイオンのうちの正のイオンが引き寄せられる。したがって、このイオンコレクター電極111に流れる電流を測定することにより、容器内の残留ガスの濃度、すなわち、真空度を測定することができる。

請求項（抜粋）：

少なくともその内部に電子放出部とアノード電極部とを有する真空気密容器において、その内部の真空度をモニタするためのイオンコレクター電極部を設けたことを特徴とする真空気密容器。

IPC (2件)：

H01J 31/12 ,  G01L 21/30

FI (2件)：

H01J 31/12 C ,  G01L 21/30 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭63-115025
  
• 発光素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-004273   出願人：松下電工株式会社