特許

J-GLOBAL ID：200903074147943260

水晶振動子の製造方法

発明者： 荒武 潔 ,  富山 光男
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-023079
公開番号（公開出願番号）：特開2000-223981
出願日： 1999年01月29日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：

【要約】【課題】 確実且つ容易に電極膜を形成することのできる圧電振動子の形成方法を提供する。【解決手段】 圧電振動片11の全面に第1の電極膜21を成膜する第1の工程と、圧電振動片11一方面側の第1の電極膜21上の少なくとも接続部30となる位置に第2の電極膜22と第3の電極膜23とを部分スパッタリングによって順次成膜する第2の工程と、第1の電極膜21をパターニングして少なくとも接続部30を形成する第3の工程とで接続部30の各電極膜を形成する。

請求項（抜粋）：

一端部が容器に固定されると共に当該容器内に気密封止される圧電振動片と、当該圧電振動片の表裏両面及び側面にそれぞれ独立して設けられると共に外部端子を接続する接続部を有する励振電極膜とを具備する圧電振動子の製造方法において、前記圧電振動片の全面に第1の電極膜を成膜する第1の工程と、前記圧電振動片の一方面側の前記第1の電極膜上の少なくとも前記接続部となる位置に第2の電極膜と第3の電極膜とを部分スパッタリングによって順次成膜する第2の工程と、前記第1の電極膜をパターニングして少なくとも前記接続部を形成する第3の工程とを有することを特徴とする圧電振動子の製造方法。

IPC (3件)：

H03H 3/02 ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19

FI (3件)：

H03H 3/02 B ,  H03H 9/10 ,  H03H 9/19 A

Fターム (13件)：

5J108BB02 ,  5J108CC06 ,  5J108CC11 ,  5J108EE03 ,  5J108EE04 ,  5J108EE07 ,  5J108EE19 ,  5J108FF05 ,  5J108FF08 ,  5J108GG03 ,  5J108GG09 ,  5J108KK02 ,  5J108MM14

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭60-153212
  
• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-102142   出願人：シチズン時計株式会社
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-023079   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-153212
  
• 水晶振動子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-102142   出願人：シチズン時計株式会社
• 水晶振動子の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-023079   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社