特許

J-GLOBAL ID：200903074153347220

アライメント検出装置

発明者： 磯貝 直己 ,  加藤 功騎 ,  小林 伸治 ,  郷野 光宏 ,  石原 範幸
出願人/特許権者： 株式会社ニデック
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-300959
公開番号（公開出願番号）：特開平10-127581
出願日： 1996年10月25日
公開日（公表日）： 1998年05月19日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成でアライメント状態の検出を精度良く行うことができ、経済的に安価にできる。【解決手段】 略球面または略ト-リック面状の反射面を持つ被検物と所定の軸線を持つ装置とのアライメント状態を検出するアライメント検出装置において、被検物の軸線に対して所定の角度で第1指標を投影する第1指標投影光学系と、該第1指標投影光学系と異なる角度で被検物の軸線に対して第2指標を投影する第2指標投影光学系とを持ち少なくとも一方は有限遠の指標である指標投影光学系を備え、該第1及び第2指標投影光学系により被検物に投影された各指標像の位置を検出することによって被検物と装置とのアライメント状態を判断する。

請求項（抜粋）：

略球面または略ト-リック面状の反射面を持つ被検物と所定の軸線を持つ装置とのアライメント状態を検出するアライメント検出装置において、被検物の軸線に対して所定の角度で第1指標を投影する第1指標投影光学系と、該第1指標投影光学系と異なる角度で被検物の軸線に対して第2指標を投影する第2指標投影光学系とを持ち少なくとも一方は有限遠の指標である指標投影光学系と、該第1及び第2指標投影光学系により被検物に投影された各指標像の位置を検出する検出光学系と、該検出光学系による検出結果に基づいてアライメント状態を判断する判断手段と、を備えることを特徴とするアライメント検出装置。

FI (2件)：

A61B 3/10 Z ,  A61B 3/10 M

引用特許：

出願人引用 (3件)

• アライメント検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-224896   出願人：株式会社ニデック
• 特開昭61-128936
  
• 特開平4-174639
  

審査官引用 (3件)

• アライメント検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-224896   出願人：株式会社ニデック
• 特開昭61-128936
  
• 特開平4-174639