着脱式ロードポート装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：内藤哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-199684
公開番号（公開出願番号）：特開2001-028386
出願日： 1999年07月14日
公開日（公表日）： 2001年01月30日
要約：

【要約】【課題】着脱式ロードポート装置を、半導体製造装置の装着面に固定する際の位置決めが簡単にできるようにする。【解決手段】半導体製造装置Dの外壁板11において、ロードポート装置L1 の装置本体Aが取付けられる部分に、上下の各位置決めピン16a,16b を突設させると共に、前記装置本体Aを構成する装着板2に、前記各位置決めピン16a,16b に対応する長孔状のピン孔17a,17b を設け、各位置決めピン16a,16b をピン孔17a,17b に挿通させることによって、位置決めを行う。

請求項（抜粋）：

半導体製造装置に着脱可能に装着されて、前記半導体製造装置に対して出入りするウェハキャリアを設置するための着脱式ロードポート装置において、前記半導体製造装置の外壁部に設けられた位置決め部と対応する被位置決め部が、ロードポート装置の装置本体に設けられていることを特徴とする着脱式ロードポート装置。

Fターム (8件)：

5F031CA02 , 5F031DA09 , 5F031FA01 , 5F031FA03 , 5F031FA09 , 5F031GA57 , 5F031NA09 , 5F031NA10

引用特許：

審査官引用 (8件)

キャスター付ヒーター
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-063775 出願人：東京エレクトロン株式会社
特開平2-203596
椅子用キャスタ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-349491 出願人：株式会社シモオカ

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