特許

J-GLOBAL ID：200903074221479652

真空容器のベーキング方法

発明者： 篠塚 脩平 ,  松村 正夫 ,  竹内 則行 ,  吉岡 毅
出願人/特許権者： 株式会社荏原製作所
代理人 (1件)： 渡邉 勇 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-043245
公開番号（公開出願番号）：特開平7-227533
出願日： 1994年02月17日
公開日（公表日）： 1995年08月29日
要約：

【要約】【目的】 70〜200°Cの低温で、短時間ベーキングするだけで、真空容器を清浄化することのできるベーキング方法を提供する。【構成】 真空容器2の真空加熱脱ガス方法において、真空容器2に加熱手段3を備え、該容器内壁面9を70〜200°Cに加熱しながら、高純度窒素ガス14またはその他の不活性ガスを該容器2内に流す。

請求項（抜粋）：

真空容器の真空加熱脱ガス方法において、真空容器に加熱手段を備え、該容器内壁面を70〜200°Cに加熱しながら、高純度窒素ガスまたはその他の不活性ガスを該容器内に流すことを特徴とする真空容器のベーキング方法。

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平3-219069
  
• 眞空ベーキング槽
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-244839   出願人：オムロン株式会社