特許

J-GLOBAL ID：200903074221526839

スパツタ装置

発明者： 大釜 克彦
出願人/特許権者： 株式会社ソニー・ミュージックエンタテインメント
代理人 (1件)： 田辺 恵基
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-288016
公開番号（公開出願番号）：特開平9-104974
出願日： 1995年10月09日
公開日（公表日）： 1997年04月22日
要約：

【要約】【課題】本発明は、ターゲツトの交換作業を容易し、生産性を向上させ得るスパツタ装置の実現を目的とするものである。【解決手段】スパツタ装置において、ターゲツトを取り付けるターゲツト取付部材とターゲツトとの間に、熱及び電気に対して良導体でかつ高融点の物質からなる柔軟性のあるシート部材を介挿するようにしたことにより、ターゲツト取付部材及びターゲツト間におけるコールドウエデイング現象の発生や、シート部材を介したターゲツト取付部材とターゲツトとの溶着を未然に防止することができ、かくしてターゲツトの交換作業を容易し、生産性を向上させ得るスパツタ装置を実現できる。

請求項（抜粋）：

所定のガスが導入された容器内に固定配置されたプレート状のターゲツト取付部材と、上記ターゲツト取付部材のターゲツト取付面に取り付けられた所定材からなるターゲツトとを有し、上記容器内に一面が上記ターゲツトと対向するように配置された加工対象物間に対して、上記ターゲツト及び上記加工対象物間に電位差を与えて放電を生じさせることにより上記一面上に皮膜を形成するスパツタ装置において、上記ターゲツト取付部材及び上記ターゲツト間に、熱及び電気に対して良導体でかつ高融点の物質からなる柔軟性のあるシート部材を介挿するようにしたことを特徴とするスパツタ装置。

IPC (3件)：

C23C 14/34 ,  C23C 14/35 ,  G11B 7/26

FI (3件)：

C23C 14/34 C ,  C23C 14/35 Z ,  G11B 7/26

引用特許：

審査官引用 (3件)

• スパツタリングカソード
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-244982   出願人：日電アネルバ株式会社
• 特開昭61-104073
  
• 特開昭64-062462