特許
J-GLOBAL ID：200903074253992130

薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器

発明者：
酒井 寛文

酒井 寛文 について


出願人/特許権者：
セイコーエプソン株式会社

セイコーエプソン株式会社 について


代理人 (3件)： 西 和哉 ,  志賀 正武 ,  青山 正和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-156867
公開番号（公開出願番号）：特開2004-358298
出願日： 2003年06月02日
公開日（公表日）： 2004年12月24日
要約：
【課題】比較的にサイズの大きい薄膜パターンを液滴吐出方式で形成するときでも、比較的に小さい液滴でパターン領域全体についてより均一な薄膜を形成することができる薄膜パターンの製造方法、有機電界発光素子の製造方法、カラーフィルタの製造方法、プラズマディスプレイパネルの製造方法、液晶表示パネルの製造方法及び電子機器を提供する。【解決手段】液滴吐出装置のノズルから吐出され液滴が被塗布面に着弾して形成された液滴10の着弾径をDとして、形成しようとするパターン(例えば画素)の幅をdとしたとき、dがDよりも大きい場合に、前記パターンを形成するためのノズルの走査する軌跡L1,L2,L3を2本以上設定することを特徴とする。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
液滴吐出装置のノズルから吐出され液滴が被塗布面に着弾して形成された液滴の着弾後の径をDとして、形成しようとするパターンの幅をdとしたとき、 dがDよりも大きい場合に、 前記パターンを形成するため、前記液滴吐出装置において少なくとも2回以上前記ノズルを走査し、該走査の過程で液滴吐出することを特徴とする薄膜パターン形成方法。
IPC (12件)：
B05D1/26 ,  B05D5/06 ,  G02B5/20 ,  G02F1/13 ,  G02F1/1335 ,  G02F1/1343 ,  G09F9/00 ,  G09F9/30 ,  H01J9/02 ,  H01J11/02 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14
FI (13件)：
B05D1/26 Z ,  B05D5/06 B ,  G02B5/20 101 ,  G02F1/13 505 ,  G02F1/1335 505 ,  G02F1/1343 ,  G09F9/00 338 ,  G09F9/30 349B ,  G09F9/30 365Z ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A
Fターム (82件)：
2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H088EA27 ,  2H088HA01 ,  2H088HA02 ,  2H088HA03 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  2H091FA02Y ,  2H091GA01 ,  2H091GA02 ,  2H091GA03 ,  2H091GA06 ,  2H091GA08 ,  2H091GA09 ,  2H091LA30 ,  2H091MA10 ,  2H092GA31 ,  2H092JB58 ,  2H092MA10 ,  2H092MA13 ,  2H092MA17 ,  2H092NA25 ,  2H092PA01 ,  2H092PA02 ,  2H092PA03 ,  2H092PA08 ,  2H092RA10 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4D075AC06 ,  4D075AC09 ,  4D075AC88 ,  4D075AC93 ,  4D075CB07 ,  4D075CB08 ,  4D075DA04 ,  4D075DA06 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DC19 ,  4D075DC21 ,  4D075DC24 ,  4D075EA10 ,  4D075EA13 ,  4D075EB14 ,  4D075EB22 ,  4D075EC07 ,  4D075EC11 ,  4D075EC17 ,  5C027AA01 ,  5C040FA01 ,  5C040FA04 ,  5C040GB03 ,  5C040GB14 ,  5C040GC19 ,  5C040GG09 ,  5C040JA13 ,  5C040MA26 ,  5C094AA25 ,  5C094AA43 ,  5C094AA44 ,  5C094AA45 ,  5C094BA29 ,  5C094BA31 ,  5C094BA43 ,  5C094CA19 ,  5C094CA24 ,  5C094ED03 ,  5C094GB10 ,  5G435AA17 ,  5G435BB05 ,  5G435BB06 ,  5G435BB12 ,  5G435CC09 ,  5G435CC12 ,  5G435KK05 ,  5G435KK10
引用特許：
審査官引用 (10件)
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