粘性流体塗布装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：滝本智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317373
公開番号（公開出願番号）：特開平10-156251
出願日： 1996年11月28日
公開日（公表日）： 1998年06月16日
要約：

【要約】【課題】従来の粘性流体装置では、カムの動作速度パターンは装置の最高タクト内では1パターンしかなく、ディスペンサの上下動作が一定のものとなり、塗布不良がしばしば発生していた。本発明はどのような粘性流体を使用しても、粘性流体の粘度等の特性を考慮した最高タクト内での最適動作パターンが選択でき、ディスペンサの上下動作に起因した塗布不良の発生率を低減させることを目的とする。【解決手段】基板に対して上下各種粘性流体の粘度等の特性に応じた最高タクト内でのディスペンサの上昇、下降速度、加速度の動作パターンを予め動作制御部に記憶しておき、動作選択入力部により、使用する粘性流体により動作パターンを任意に選択可能なように構成した。

請求項（抜粋）：

基板に対して上下動可能な粘性流体塗布用ディスペンサを有し、ディスペンサの上下方向の動作により粘性流体を基板に塗布を行う粘性流体塗布装置において、粘性流体の粘度等の特性を数種類に分類し、各々に適した上下動作速度、加速度、タイミングを予め制御部に記憶しておき、使用する粘性流体の特性に合わせて制御条件を選択できるように構成したことを特徴とする粘性流体塗布装置。

IPC (2件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/00

FI (2件)：

B05C 5/00 101 , B05C 11/00

引用特許：

審査官引用 (7件)

塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-006750 出願人：三洋電機株式会社
接着剤塗布装置用の接着剤塗布ノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-031871 出願人：松下電器産業株式会社
注入用ノズル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-075892 出願人：キヤノン株式会社

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