特許

J-GLOBAL ID：200903074269915411

電子顕微鏡、電子顕微鏡の操作方法、電子顕微鏡操作プログラムおよびコンピュータで読み取り可能な記録媒体

発明者： 内田 太治 ,  橘 和広 ,  高木 成宣
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (2件)： 豊栖 康司 ,  豊栖 康弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-325523
公開番号（公開出願番号）：特開2004-158392
出願日： 2002年11月08日
公開日（公表日）： 2004年06月03日
要約：

【課題】別の画面に観察像を適切な倍率で登録して視野探しを容易にする。【解決手段】電子顕微鏡は、所定の像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで、観察像を結像し表示部28にて表示可能である。表示部28は、現在観察中の観察像をリアルタイムに表示するための第1表示領域47と、第1表示領域47と別画面で設けられ、第1表示領域47に表示される画像を所定のタイミングで登録して表示可能な第2表示領域48を備える。第2表示領域48に登録される画像の観察倍率は、登録時に第1表示領域47で表示されている観察倍率よりも低い倍率に設定される。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

像観察条件に基づいて、電子銃に加速電圧を印加して電子線を試料に照射し、試料から放出される二次電子または反射電子を1以上の検出器で検出しながら試料表面の所望の領域を走査することで観察像を結像し、該検出器で検出した信号に基づいて該観察像を階調表現して表示可能な電子顕微鏡であって、 前記観察像を表示するための第1表示領域と、 前記第1表示領域に所定のタイミングにおいて表示された観察像の第1観察倍率よりも低い倍率である第2観察倍率を設定するための設定部と、 前記第1表示領域に表示された観察像を前記所定のタイミングにおいて取り込み、該取り込んだ観察像を前記設定部で設定された第2観察倍率に変更するための制御手段と、 前記制御手段で変更された前記第2観察倍率の観察像を記憶するための記憶手段と、 前記第1表示領域とは別画面で設けられ、前記制御手段で第2観察倍率に変更された観察像を表示する第2表示領域とを備える電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J37/22 ,  H01J37/28

FI (2件)：

H01J37/22 502C ,  H01J37/28 B

Fターム (2件)：

5C033UU05 ,  5C033UU06

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 走査形電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-276442   出願人：株式会社日立製作所