特許
J-GLOBAL ID:200903074327661190
塗布液の脱泡方法および脱泡システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
志賀 正武 (外6名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-009073
公開番号(公開出願番号):特開2003-210907
出願日: 2002年01月17日
公開日(公表日): 2003年07月29日
要約:
【要約】【課題】 溶剤の揮発を抑えながら、塗布液中に溶存するガスを脱気でき、塗布液から気泡を確実に取り除くことができる塗布液の脱泡方法および脱泡システムを提供する。【解決手段】 加圧下において塗布液に超音波を照射して気泡を発生させる超音波発泡工程と、超音波発泡工程に続いて、塗布液を大気圧下に開放して塗布液と気泡を分離する気液分離工程とを有する塗布液の脱泡方法;および塗布液に超音波を照射して気泡を発生させる超音波発泡装置11と、超音波発泡装置11内の塗布液を加圧状態にする加圧手段と、超音波発泡装置11から送られた塗布液を大気圧下に開放して塗布液と気泡を分離する気液分離槽12とを具備する塗布液の脱泡システム。
請求項(抜粋):
塗布装置に送液される塗布液から気泡を取り除く塗布液の脱泡方法であり、加圧下において塗布液に超音波を照射して気泡を発生させる超音波発泡工程と、超音波発泡工程に続いて、塗布液を大気圧下に開放して塗布液と気泡を分離する気液分離工程とを有することを特徴とする塗布液の脱泡方法。
IPC (5件):
B01D 19/00
, B01D 19/00 101
, B05C 11/10
, B05D 3/12
, G03F 7/16 501
FI (7件):
B01D 19/00 C
, B01D 19/00 Z
, B01D 19/00 101
, B05C 11/10
, B05D 3/12 A
, B05D 3/12 F
, G03F 7/16 501
Fターム (17件):
2H025AB03
, 2H025EA04
, 4D011AA01
, 4D011AA16
, 4D011AA18
, 4D011AD01
, 4D075BB13X
, 4D075BB56X
, 4D075BB93X
, 4D075CA48
, 4D075DC27
, 4D075DC40
, 4D075EA07
, 4D075EA35
, 4D075EA45
, 4F042CA07
, 4F042CB03
引用特許:
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