ウェーハの平面加工装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松浦憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-117336
公開番号（公開出願番号）：特開平11-309653
出願日： 1998年04月27日
公開日（公表日）： 1999年11月09日
要約：

【要約】【課題】ウェーハを保持するテーブルのスピンドルと、砥石若しくは研磨布のスピンドルとの傾斜角度調整を手間をかけることなく正確に行うことができるウェーハの平面加工装置を提供する。【解決手段】本発明は、カップ型砥石56のスピンドル94の傾斜角度を調整する機構78、80と、傾斜角度を示す情報を入力するキーボード128と、CPU120とを有し、キーボード128から情報を入力すると、CPU120は、前記情報に基づいて傾斜角度を算出し、そして、算出した傾斜角度になるように傾斜角度調整機構78、80を駆動制御する。

請求項（抜粋）：

ウェーハを保持するテーブルと、該ウェーハを加工する砥石若しくは研磨布とを相対的に近づく方向に移動して押し付けると共に、砥石若しくは研磨布とテーブルとを回転させてウェーハを加工するウェーハの平面加工装置において、前記テーブルのスピンドルと前記砥石若しくは研磨布のスピンドルとを相対的に傾斜させる傾斜角度調整機構と、傾斜角度を示す情報を入力する入力手段と、入力手段から入力された前記情報に基づいて傾斜角度を算出し、該算出した傾斜角度になるように前記傾斜角度調整機構を制御する制御手段と、を備えたことを特徴とするウェーハの平面加工装置。

IPC (2件)：

B24B 7/00 , H01L 21/304 631

FI (2件)：

B24B 7/00 A , H01L 21/304 631

引用特許：

審査官引用 (6件)

両頭平面研削機
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-294183 出願人：大昌精機株式会社
特開昭62-068262
特開昭62-068262

全件表示

前のページに戻る