特許

J-GLOBAL ID：200903074334754285

X線回折測定装置

発明者： 谷川 明男 ,  秋本 晃一
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-206134
公開番号（公開出願番号）：特開平8-054360
出願日： 1994年08月09日
公開日（公表日）： 1996年02月27日
要約：

【要約】【目的】 エネルギー分散X線回折における、測定ごとのスペクトルのバックグラウンドの変化を極めて小さくし、測定結果の高い再現性が得られる装置を提供する。【構成】 白色X線1を被測定物4に入射するスリット2と、被測定物4からの回折X線9のエネルギースペクトルを測定する半導体検出器6と、被測定物4からの回折X線9の強度を計数測定する機構10,11と、測定物4を所望の角度に傾斜、回転させることのできる試料ステージ3とを備える。

請求項（抜粋）：

X線源からの白色X線を被測定物に入射する機構と、該被測定物からの回折X線のエネルギースペクトルを測定する機構と、前記被測定物からの回折X線の強度を計数測定する機構と、前記被測定物を所望の角度に回転させる機構とから構成されてなることを特徴とするX線回折測定装置。