特許
J-GLOBAL ID：200903074411350818
微細格子およびその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-245843
公開番号（公開出願番号）：特開2004-085831
出願日： 2002年08月26日
公開日（公表日）： 2004年03月18日
要約：
【課題】反射防止構造体として好適な微細格子及びその製造方法を提供する。【解決手段】基板上に微細な円錐形状やピラミッド状の突起を2次元に配列する際に、その配列周期を基本となる周期を中心に変動させて配列したり、突起の高さを変動させて配列ことにより光の回折による影響が低減でき、理想的な反射防止構造が形成できる。また、このような配列周期が変動するパターンを描画するために、電子ビーム露光装置の偏向器に微小な変動信号を重畳することで、周期的パターンデータを用いて変動する周期のパターンを形成できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に微細な突起またはホール状のパターンが連続に配列されて成る微細格子において、パターンの配列周期を変動させて配列したことを特徴とする微細格子。
IPC (2件)：
FI (3件)：
G02B1/10 A
, G03F7/20 501
, G03F7/20 504
2H097CA16
, 2H097LA20
, 2K009AA12
, 2K009BB11
, 2K009DD05
, 2K009DD12
