微細パタ-ンの製造装置及びホログラフィックメモリ記録再生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岩橋文雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-018367
公開番号（公開出願番号）：特開2000-214753
出願日： 1999年01月27日
公開日（公表日）： 2000年08月04日
要約：

【要約】【課題】任意のピッチおよび傾きを持つ周期的な微細パターンを高いコントラストで製造することができる二光束干渉露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】感光性媒質へ入射した二つのレーザー光束の媒質内での光強度比を、ビジビリティVの値がV≧0.8となるように光量調整手段30を用いて光強度を調整する。これにより、干渉縞のビジビリティを増大させることができ、干渉光のコントラストを改善することができる。

請求項（抜粋）：

光源からの光をビームスプリッタまたはプリズムにより2つの光束に分岐し、これら2つの光束を感光性材料内で干渉させることにより前記感光性材料に周期的な微細パターンを形成する製造装置であって、前記2つの光束のうち少なくとも一つの光束を前記感光性材料に照射する光路中に光束の光量調整手段を備えたことを特徴とする微細パターンの製造装置。

Fターム (13件)：

2K008AA00 , 2K008AA04 , 2K008AA17 , 2K008BB04 , 2K008CC01 , 2K008CC03 , 2K008DD13 , 2K008DD23 , 2K008HH12 , 2K008HH16 , 2K008HH18 , 2K008HH25 , 2K008HH26

引用特許：

出願人引用 (8件)

ホログラム記録用二次元符号化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-009181 出願人：日本電信電話株式会社
特開平3-289692
特開平3-241387

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審査官引用 (11件)

ホログラム記録用二次元符号化方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-009181 出願人：日本電信電話株式会社
特開平3-289692
特開平3-289692

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