特許
J-GLOBAL ID：200903074432675776
3次元中空容器の薄膜成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-303817
公開番号（公開出願番号）：特開2006-117962
出願日： 2004年10月19日
公開日（公表日）： 2006年05月11日
要約：
【課題】本発明は、3次元中空容器の薄膜成膜装置を提供することを目的とする。【解決手段】マイクロ波エネルギーを封じ込める円筒型金属製容器と該円筒型金属製容器内に成膜対象物である中空容器を収納する非金属製の真空チャンバーと、該中空容器内に原料ガスを注入する原料ガス導入管が配置され、該円筒型金属製容器の天面部には同軸線路構造のマイクロ波伝送手段を介してマイクロ波エネルギーを注入する手段を具備し、該マイクロ波エネルギー注入手段が該円筒型金属製容器の内面をアース面として存在することが出来る、少なくとも一つ以上のストリップラインによって、該円筒型金属製容器内にマイクロ波エネルギーが注入され、このエネルギーによって得られるプラズマを用いて前記原料ガスをプラズマ化することを特徴とする3次元中空容器の薄膜成膜装置である。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マイクロ波エネルギーを封じ込める円筒型金属製容器と該円筒型金属製容器内に成膜対象物である中空容器を収納する非金属製の真空チャンバーと、該中空容器内に原料ガスを注入する原料ガス導入管が配置され、該円筒型金属製容器の天面部には同軸線路構造のマイクロ波伝送手段を介してマイクロ波エネルギーを注入する手段を具備し、該マイクロ波エネルギー注入手段が該円筒型金属製容器の内面をアース面として存在することが出来る、少なくとも一つ以上のストリップラインによって、該円筒型金属製容器内にマイクロ波エネルギーが注入され、このエネルギーによって得られるプラズマを用いて前記原料ガスをプラズマ化することを特徴とする3次元中空容器の薄膜成膜装置。
IPC (3件)：
C23C 16/511
, H05H 1/46
, B65D 1/00
C23C16/511
, H05H1/46 B
, B65D1/00 C
3E033AA02
, 3E033BA13
, 3E033BA30
, 3E033BB08
, 3E033CA16
, 3E033EA10
, 4K030CA07
, 4K030CA08
, 4K030CA15
, 4K030FA01
, 4K030KA30
, 4K030LA24
