特許
J-GLOBAL ID：200903074433791125
光導波路用感光性組成物およびその製造方法および高分子光導波路パタ-ン形成方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
谷 義一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284886
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180643
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：
【要約】【課題】透明性、耐熱性及び耐湿性、光学等方性、簡易なパターン形成能、加工性を有し、複屈折が小さい有機オリゴマーを含む組成物、その製造方法、およびそれを用いる簡易で量産性に優れ、かつ光部品との接続が容易に行うことが可能な高分子光導波路パターンの形成方法の提供。【解決手段】光重合性有機オリゴマーと重合開始剤と架橋剤とを含む光導波路用感光性組成物を用いて、前記光導波路用感光性組成物を塗布・乾燥する工程と、得られた光導波路用感光性組成物薄膜をマスク越しに光照射する工程と、該感光性組成物薄膜をウエットエッチングすることにより直接コアリッジパターンを形成して高分子光導波路パターンを形成する。
請求項（抜粋）：
有機オリゴマーと重合開始剤とを含む光導波路用感光性組成物において、有機オリゴマーが一般式(1)で表わされるシリコーンオリゴマーであることを特徴とする光導波路用感光性組成物。【化1】(式中、Xは水素原子、重水素原子、ハロゲン原子、アルキル基またはアルコキシ基を表し、mは1〜5の整数であり、xおよびyはそれぞれ各ユニットの存在割合を示し、xおよびyはともに0であることはなく、R1は、メチル基、エチル基またはイソプロピル基を表す)
IPC (4件)：
G02B 6/12
, C08L 83/04
, G02B 6/13
, G03F 7/075 511
G02B 6/12 N
, C08L 83/04
, G03F 7/075 511
, G02B 6/12 M
