特許

J-GLOBAL ID：200903074491791798

画像検査・測定装置

発明者： 長沼 義広
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 土井 健二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-349394
公開番号（公開出願番号）：特開平11-183124
出願日： 1997年12月18日
公開日（公表日）： 1999年07月09日
要約：

【要約】【課題】画像検査・測定装置は、広い視野、即ち低い倍率であることと、高い分解能、即ち高い倍率であることが望まれる。【解決手段】光学系を介して撮像装置により撮像した被検査物の画像信号を利用して前記被検査物の検査あるいは測定を行う画像検査・測定装置において、前記光学系は、対物レンズと、前記対物レンズからの光束を分岐する光分岐手段と、前記光分岐手段で分岐した一方の光束を高倍率側で変倍する第1の光学系と、前記光分岐手段で分岐した他方の光束を低倍率側で変倍する第2の光学系とを有することを特徴とする画像検査・測定装置を提供する。

請求項（抜粋）：

光学系を介して撮像装置により撮像した被検査物の画像信号を利用して前記被検査物の検査あるいは測定を行う画像検査・測定装置において、前記光学系は、対物レンズと、前記対物レンズからの光束を分岐する光分岐手段と、前記光分岐手段で分岐した一方の光束を高倍率側で変倍する第1の光学系と、前記光分岐手段で分岐した他方の光束を低倍率側で変倍する第2の光学系とを有することを特徴とする画像検査・測定装置。

IPC (4件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G01B 11/00 H ,  G01B 11/24 C ,  G01N 21/88 J ,  G06F 15/64 320 C

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-044735
  
• 観察装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-215655   出願人：株式会社ニコン
• 顕微鏡用光学系
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-203626   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 特開平2-309310