特許
J-GLOBAL ID：200903078667981926

観察装置

発明者：
加藤 正紀

加藤 正紀 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-215655
公開番号（公開出願番号）：特開平8-075662
出願日： 1994年09月09日
公開日（公表日）： 1996年03月22日
要約：
【要約】【目的】 観察装置のモニタ上での画質を良好に保ちながら、変倍比を大きくし、更に倍率の変化数を増加させると共に、変倍時の光学的な収差変動を少なくする。【構成】 物体1からの光を第1対物レンズ2及び第2対物レンズ3を介して集光し、物体1の像を形成する。第2対物レンズ3の後に対物レンズ2,3の光軸AXに対して角度を自由に調節できる光路切替ミラー10を配置し、物体1からの反射光束ILを、光路切替ミラー10の面で順次異なる方向に反射させ、物体1と共役な位置に配置された分解能の異なる撮像素子6a,6b,6cの撮像面に順次物体1の像を結像する。
請求項（抜粋）：
対物光学系を介して物体面上の被検物を観察する装置において、前記物体面と共役な複数の像面を形成する多像面形成手段と、該多像面形成手段により形成される複数の像面にそれぞれ配置される互いに分解能の異なる複数の2次元撮像素子と、を有することを特徴とする観察装置。
IPC (4件)：
G01N 21/88 ,  G01B 11/00 ,  H04N 5/232 ,  H04N 7/18
引用特許：
審査官引用 (4件)
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