特許
J-GLOBAL ID：200903074497851440
有機EL表示装置の製造装置及び製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-130012
公開番号（公開出願番号）：特開2008-287949
出願日： 2007年05月16日
公開日（公表日）： 2008年11月27日
要約：
【課題】2枚の貼り合わせ基板を容易に分離できるようにする。【解決手段】転写層を備えた転写用基板と素子形成用基板とを貼り合わせて、レーザー熱転写法によって転写用基板上の転写層を素子形成基板上に転写した後、転写用基板と素子形成基板とを分離する場合に用いられる有機EL表示装置の製造装置21であり、転写用基板および素子形成用基板を保持した基板保持部23と、基板保持部23に保持された転写用基板および素子形成用基板のうち一方に吸着すべく列状に配置された吸着パッド列を有する吸着パッド30を複数並べて設けるとともに、基板保持部23に対して複数の吸着パッド列を独立に昇降可能に支持する複数の昇降用シリンダ34を有する昇降用シリンダ34とを備え、複数の吸着パッド列を吸着させた状態で、複数の昇降用シリンダ34により複数の吸着パッド列を基板保持部23から離間するように順に上昇させることにより、転写用基板と素子形成用基板とを分離する。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
有機EL表示装置を構成するための有機EL素子を形成する工程において、転写層を備えた転写用基板と有機EL素子の素子形成用基板とを貼り合せ、レーザー熱転写法によって前記転写用基板上の転写層を前記素子形成基板上に転写した後、前記転写用基板と前記素子形成用基板とを分離する場合に用いられる有機EL表示装置の製造装置であって、
前記転写用基板および前記素子形成用基板を保持した基板保持部と、
前記転写用基板または前記素子形成用基板に吸着すべく列状に配置された吸着パッド列を所定の方向に複数並べて設けるとともに、前記基板保持部に対して前記複数の吸着パッド列を独立に接離移動可能に支持する複数の駆動手段を有する基板吸着ユニットとを備え、
前記転写用基板または前記素子形成用基板に前記複数の吸着パッド列を吸着させた状態で、前記複数の駆動手段により前記複数の吸着パッド列を前記基板保持部から離間する方向に順に移動させることにより、前記転写用基板と前記素子形成用基板とを分離する
ことを特徴とする有機EL表示装置の製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (6件)：
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG09
, 3K107GG32
