特許
J-GLOBAL ID:200903074505982680
セラミック多層基板の製造方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
加古 宗男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-060034
公開番号(公開出願番号):特開2003-258424
出願日: 2002年03月06日
公開日(公表日): 2003年09月12日
要約:
【要約】【課題】 焼成済み基板と未焼成のセラミックグリーンシートとの積層体を拘束焼成してセラミック多層基板を製造する方法において、圧着時の加圧力による焼成済み基板の割れを防止する。【解決手段】 焼成済み基板12に圧着する未焼成のセラミックグリーンシート13を、その圧着時の厚み変化量(複数枚の未焼成のセラミックグリーンシートを同時に圧着する場合はそれらの合計厚み変化量)が焼成済み基板12の凹凸による最大厚み差以上となるように形成する。このようにすれば、圧着時に焼成済み基板12の凹凸に応じて未焼成のセラミックグリーンシート13が柔軟に変形して、焼成済み基板12の凹凸による最大厚み差を未焼成のセラミックグリーンシート13の厚み変化量で吸収することができるため、圧着時の加圧力が焼成済み基板12の凸反り部分に集中的に作用することを防止できる。
請求項(抜粋):
予め焼成したセラミック基板(以下「焼成済み基板」という)の片面又は両面に、該焼成済み基板の焼結温度とほぼ同一温度又はそれよりも低い温度で焼結する1枚又は複数枚の未焼成のセラミックグリーンシートを積層圧着して積層体を作製する積層体作製工程と、前記未焼成のセラミックグリーンシートの焼結温度では焼結しない拘束用グリーンシートを前記積層体の両面に積層する工程と、前記拘束用グリーンシートを介して前記積層体を加圧しながら又は加圧せずに前記未焼成のセラミックグリーンシートの焼結温度で拘束焼成して前記積層体を一体化する拘束焼成工程と、前記拘束焼成工程後に前記拘束用グリーンシートの残存物を除去する工程とを有するセラミック多層基板の製造方法であって、前記積層体作製工程で前記焼成済み基板に圧着する前記未焼成のセラミックグリーンシートは、圧着時の厚み変化量(複数枚の未焼成のセラミックグリーンシートを同時に圧着する場合はそれらの合計厚み変化量)が前記焼成済み基板の凹凸による最大厚み差以上となるように形成されていることを特徴とするセラミック多層基板の製造方法。
IPC (2件):
FI (2件):
H05K 3/46 H
, H01L 23/12 D
Fターム (4件):
5E346AA12
, 5E346CC18
, 5E346EE24
, 5E346HH33
引用特許: