特許
J-GLOBAL ID:200903074506652820

ケミカルフィルターを備えたクリーンルーム用外調機の湿度制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 一色 健輔 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-328899
公開番号(公開出願番号):特開平11-159819
出願日: 1997年11月28日
公開日(公表日): 1999年06月15日
要約:
【要約】【課題】 ケミカルフィルターの導入外気中の相対湿度が所定値以上になる場合に、この導入外気中の湿度を低下させてケミカルフィルターの本来の機能が低下するのを防止する。【解決手段】 ケミカルフィルター30を備えて、導入外気中の有害化学物質を除去するようにしたクリーンルーム用外調機12であって、ケミカルフィルター30の上流側に、導入外気中の相対湿度を低下制御する加熱器28を設け、この加熱器28により導入外気を昇温させてその相対湿度を低下させる。
請求項(抜粋):
ケミカルフィルターを備えて、導入外気中の有害化学物質を除去するようになったクリーンルーム用外調機において、上記ケミカルフィルターの上流側に、導入外気中の湿度を低下制御する湿度制御手段を設けたことを特徴とするケミカルフィルターを備えたクリーンルーム用外調機の湿度制御装置。
IPC (6件):
F24F 7/06 ,  B01D 53/34 ,  B01D 53/81 ,  F24F 3/14 ,  F24F 3/16 ,  F24F 11/02 102
FI (5件):
F24F 7/06 C ,  F24F 3/14 ,  F24F 3/16 ,  F24F 11/02 102 P ,  B01D 53/34 A
引用特許:
審査官引用 (4件)
  • クリーンルーム設備
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-307012   出願人:富士電機株式会社, 富士電機総設株式会社, 株式会社タクマ, 株式会社忍足研究所
  • 特開平4-113141
  • 非常用ガス処理装置
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平7-113137   出願人:東芝エンジニアリング株式会社, 株式会社東芝
全件表示

前のページに戻る