特許

J-GLOBAL ID：200903074534072723

光洗浄方法

発明者： 磯 慎一 ,  松野 博光 ,  五十嵐 龍志 ,  菅原 寛 ,  平本 立躬
出願人/特許権者： ウシオ電機株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-060118
公開番号（公開出願番号）：特開平8-236492
出願日： 1995年02月24日
公開日（公表日）： 1996年09月13日
要約：

【要約】【目的】 洗浄効率が高く、紫外線や熱によるダメージが少なく、ランプ交換頻度が少なく、大面積を精密洗浄できる光洗浄方法を提供する。【構成】 被照射物を酸素を含む雰囲気中に配置して酸素と被照射物に紫外線ランプからの紫外線を照射するUV/O3 洗浄方法において、紫外線ランプへの電気入力の入力と遮断の繰り返しによって洗浄中に該紫外線ランプの点灯と消灯を行うものであるが、特に、該紫外線ランプとして誘電体バリア放電ランプが良い。

請求項（抜粋）：

被照射物を酸素を含む雰囲気中に配置して酸素と被照射物に紫外線ランプからの紫外線を照射するUV/O3 洗浄方法において、紫外線ランプへの電気入力の入力と遮断の繰り返しによって洗浄中に該紫外線ランプの点灯と消灯を行うことを特徴とした光洗浄方法。

IPC (5件)：

H01L 21/304 341 ,  H01L 21/304 ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/3065 ,  H01L 21/302

FI (6件)：

H01L 21/304 341 D ,  H01L 21/304 341 M ,  H01L 21/304 341 S ,  B08B 7/00 ,  H01L 21/302 N ,  H01L 21/302 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平2-280832
  
• 誘電体バリヤ放電ランプを使用した洗浄方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-123160   出願人：ウシオ電機株式会社