光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-038967
公開番号（公開出願番号）：特開2000-241648
出願日： 1999年02月17日
公開日（公表日）： 2000年09月08日
要約：

【要約】【課題】生産性を向上させた光導波路などの光学部品の製造装置およびその製造方法ならびに光学部品を提供する。【解決手段】光学部品製造装置1は、感光性を有する例えばポリカーボネートなどの高分子フィルムの被処理体2を巻着する送りロール3と、被処理体2を巻き取る巻き取りロール4と、被処理体2に光を照射する光源5と、被処理体2と光源5との間に配設されるマスク6と、マスク6を被処理体2の走行と同期して駆動する不図示の駆動手段とを有する。また、送りロール3と巻き取りロール4との間には、例えば被処理体2を走行するために配設されるガイドロール7a、7bを有し、巻き取りロール4は、不図示の回転駆動装置により回転駆動される。

請求項（抜粋）：

感光性を有する被処理体を巻着する送りロールと、前記被処理体を巻き取る巻き取りロールと、前記被処理体に光を照射する光源と、前記被処理体と前記光源との間に配設されるマスクと、前記マスクを駆動する手段とを有し、前記被処理体の走行に同期して前記マスクを移動しつつ、前記被処理体に前記光源からの光を照射して前記マスクのパターン情報を用いてパターンを順次形成することを特徴とする光学部品の製造装置。

IPC (2件)：

G02B 6/13 , G03F 7/20 502

FI (2件)：

G02B 6/12 M , G03F 7/20 502

Fターム (10件)：

2H047PA11 , 2H047PA28 , 2H047TA41 , 2H097BA02 , 2H097CA12 , 2H097CA17 , 2H097FA09 , 2H097GA43 , 2H097LA09 , 2H097LA17

引用特許：

審査官引用 (6件)

受発光素子-光部品モジュール
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-293403 出願人：三菱瓦斯化学株式会社
特開昭60-205452
特開昭54-121971

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