特許
J-GLOBAL ID：200903074560698720
半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置および半導体レーザモジュールの製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-204852
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023203
出願日： 2001年07月05日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：
【要約】【課題】 半導体レーザモジュールの半導体レーザ素子2と光ファイバ3の光結合効率の向上を容易にする。【解決手段】 パッケージ4の内部に固定部を載置し、そのパッケージ4をチャンバ27内の加熱手段28の上部に載置する。基台6に半導体レーザ素子を搭載し、その基台6を基台把持手段30によって把持してパッケージ4の内部の固定部の上部に配置する。この状態で、LD光軸傾き検出手段34によってパッケージ4に配置される光ファイバの受光光軸となる基準光軸に対する半導体レーザ素子の傾きを検出する。この検出結果に基づいて、半導体レーザ素子の光軸が基準光軸に一致する方向に基台把持手段30を変位させて基台6と共に半導体レーザ素子を変位する。半導体レーザ素子の光軸が基準光軸に略一致した状態を維持したまま、半導体レーザ素子を固定部の上部に半田固定する。
請求項（抜粋）：
パッケージ内の固定部に半導体レーザ素子搭載用の基台を半田付けする装置であって、前記パッケージが載置されるパッケージ載置部と、前記基台を把持する基台把持手段と、半導体レーザ素子を搭載した基台が基台把持手段に把持されて前記パッケージ載置部に載置されたパッケージ内の固定部の上部に配置されている状態で、パッケージの所定の基準光軸に対する半導体レーザ素子の光軸の傾きを検出するLD光軸傾き検出手段と、このLD光軸傾き検出手段の検出結果に基づいて基台把持手段とパッケージ載置部を相対的に変位させ半導体レーザ素子の光軸を調整する光軸調整手段とを有し、光軸調整手段による半導体レーザ素子の光軸調整が終了した後に、基台を固定部に半田固定することを特徴とした半導体レーザ素子搭載用基台の半田付け装置。
IPC (3件)：
H01S 5/022
, G02B 6/42
, H01L 21/50
H01S 5/022
, G02B 6/42
, H01L 21/50 F
2H037AA01
, 2H037BA03
, 2H037DA03
, 2H037DA04
, 2H037DA05
, 2H037DA06
, 2H037DA16
, 5F073AB27
, 5F073AB28
, 5F073EA29
, 5F073FA02
, 5F073FA06
, 5F073FA25
, 5F073FA30
