表面電位計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：丹羽宏之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-109380
公開番号（公開出願番号）：特開平9-292426
出願日： 1996年04月30日
公開日（公表日）： 1997年11月11日
要約：

【要約】【課題】音叉型振動子を用いたチョッパー方式の非接触型表面電位計において、測定信号のS/N比を高くし、測定性能を向上させる。【解決手段】音叉型振動子10のフォーク部10bの両先端部分10cを互いに近付くように且つ測定対象物8からの電気力線7を受ける測定電極1と離れるように折り曲げて、ハの字型の形状にする。また、圧電素子4によりその先端部分10cをA方向に振動させ、測定対象物8から両先端部分10cの間を通って測定電極1に入る電気力線7の量を時間的に変化させる。そして、測定電極1に誘起される微小交流電流を増幅素子3により増幅して取り出し、この信号から測定対象物8の表面電位を演算する。

請求項（抜粋）：

測定対象物からの電気力線を受ける測定電極と、その測定電極に入る電気力線の量を時間的に変化させる音叉型振動子を備え、該音叉型振動子は、固定部と反対側のフォーク部の両先端部分が互いに近付くように且つ前記測定電極から離れるように形成し、該フォーク部の両先端部分の間を通る電気力線を受けて前記測定電極に誘起される微小信号から前記測定対象物の表面電位を測定することを特徴とする表面電位計。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭60-055274
表面電位計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-204704 出願人：キヤノン株式会社

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