特許

J-GLOBAL ID：200903074581482956

光ディスク用原盤およびスタンパならびにそれらの製造方法

発明者： 池田 典弘 ,  西尾 佳高 ,  内原 可治
出願人/特許権者： 三洋電機株式会社
代理人 (1件)： 深見 久郎 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-250354
公開番号（公開出願番号）：特開平10-097739
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：

【要約】【課題】 グルーブまたはランドの表面粗さを小さくしかつそのテーパ角を大きくすることにより、信号の検出精度が高くかつ記録密度の高い光磁気ディスクを製造可能にする。【解決手段】 シリコン基板10上に熱酸化法によりシリコン酸化膜11を形成し、そのシリコン酸化膜11をフォトリソグラフィ法により光磁気ディスクのトラックに対応する同心円状またはスパイラル状にパターニングし、これにより光磁気ディスク用の原盤を製造する。

請求項（抜粋）：

光ディスク用の原盤であって、シリコン基板と、前記シリコン基板上に形成され、前記光ディスクのトラックに対応する所定形状にパターニングされたシリコン酸化膜とを含む、光ディスク用原盤。

IPC (3件)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/26 511 ,  G03F 7/40 521

FI (3件)：

G11B 7/26 501 ,  G11B 7/26 511 ,  G03F 7/40 521

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-235044
  
• 光ディスク原盤作成用ガラス基板
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-036935   出願人：ソニー株式会社
• スタンパー製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-192429   出願人：株式会社東北中谷