特許

J-GLOBAL ID：200903074592294213

ボロメータ型赤外線固体撮像素子

発明者： 遠山 茂
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 宮本 恵司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-135780
公開番号（公開出願番号）：特開2003-329515
出願日： 2002年05月10日
公開日（公表日）： 2003年11月19日
要約：

【要約】【課題】低ノイズでありながらボロメータ膜に最適な特性を持たせ、画素間の特性バラツキを小さくすることができるボロメータ型赤外線固体撮像素子の提供。【解決手段】半導体基板7上に、梁部6によって浮かせて支持されたダイアフラムから成る複数の赤外線検出素子を有し、ダイアフラムの一部を構成し、ボロメータ薄膜1が形成される下層保護膜4上に、複数の凸形状部2、あるいはそれらの間が部分的に繋がって一体となった凸形状部2を形成し、その上にボロメータ薄膜1を設けることにより、ボロメータ薄膜1には凸形状部2の側壁に生成された分の体積増加が起こり、1/fノイズを低減することができる。また、ボロメータ薄膜1を単層で構成することにより、コンタクト部構成を再現性良く高信頼のものとすることができ、特性バラツキが抑制し面内均一性の高い良好な電気的特性を得ることができる。

請求項（抜粋）：

基板上に、基板から梁によって浮かせて支持されたダイアフラムから成る複数の赤外線検出素子を有し、前記ダイアフラムは、ボロメータ薄膜と、その両端に配置した電極と、前記ボロメータ薄膜と前記電極とを取り囲む上層保護膜及び下層保護膜とから成り、前記梁は、配線材料と、該配線材料を取り囲む絶縁保護膜とから成るボロメータ型赤外線固体撮像素子において、前記ダイアフラムを構成する前記下層保護膜に複数の凸部又は凹部を備え、前記凸部又は前記凹部の側壁を含む前記下層保護膜上に前記ボロメータ薄膜が形成されていることを特徴とするボロメータ型赤外線固体撮像素子。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  H01L 27/14 ,  H01L 27/146

FI (4件)：

G01J 1/02 C ,  G01J 1/02 Q ,  H01L 27/14 K ,  H01L 27/14 E

Fターム (14件)：

2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA14 ,  2G065BA34 ,  2G065BE08 ,  2G065CA13 ,  2G065DA20 ,  4M118AA02 ,  4M118AB01 ,  4M118BA07 ,  4M118CA14 ,  4M118CB12 ,  4M118EA01 ,  4M118EA14

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 熱型赤外線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-167138   出願人：日本電気株式会社
• 特開平2-281703
  

審査官引用 (2件)

• 熱型赤外線検出素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-167138   出願人：日本電気株式会社
• 特開平2-281703