特許
J-GLOBAL ID:200903032394601874

熱型赤外線検出素子

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 忠 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-167138
公開番号(公開出願番号):特開2000-002585
出願日: 1998年06月15日
公開日(公表日): 2000年01月07日
要約:
【要約】【課題】 熱型赤外線検出素子の熱分離性を高める。【解決手段】 赤外線の検出部であるダイアフラム10からの出力は電極4、梁12を通る電極配線14を介し、さらに土手16のコンタクト15で土手16を通る電極配線14を介し、外部に出力されることで赤外線を検出する。ダイアフラム10と土手16の間にはスリット8が形成されている。ダイアフラム10は1本の梁12のみで土手16に対して保持されている。
請求項(抜粋):
第1の電気配線を有する基板と、前記基板の上部に配置された、2つの電極を有し赤外線を受光する赤外線受光部と、前記基板と前記赤外線受光部とをつなぐ1本の梁を有し、前記梁は、前記第1の電気配線と前記各電極とを電気的に接続する第2の電気配線を有することを特徴とする熱型赤外線検出素子。
Fターム (5件):
2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA32 ,  2G065BB48 ,  2G065BE08
引用特許:
審査官引用 (4件)
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