特許
J-GLOBAL ID:200903074620376760

イメージングシステムにおける高速縦方向走査方法および装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 龍華 明裕
公報種別:公表公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-595105
公開番号(公開出願番号):特表2002-535637
出願日: 2000年01月20日
公開日(公表日): 2002年10月22日
要約:
【要約】 測定すべき試料と、システムに対して構成される回転素子との両方に向けて光学信号が伝搬される画像システム。戻り信号はシステムによって検出され、スキャンアナライザおよび補正ユニットは、戻り信号の劣化や回転素子における不具合による誤差をリアルタイムで補正するために、同期情報とともにシステム較正情報を用いる。これにより、試料の正確な測定が可能になる。システムはまた、試料内の目標領域をシステムがトラッキングすることを可能にして正確な試料の測定を可能にする粗パス長調整ユニットを備えている。
請求項(抜粋):
ブロードバンド光を受け取り、試料戻り信号を生成する試料に向けられる基準出力信号およびプローブ信号を出力する干渉計と、前記基準出力信号を受け取り、前記干渉計に基準戻り信号を出力する光学パスレングススキャニングユニットであって、前記干渉計は前記基準戻り信号と前記試料戻り信号とを組み合わせ、干渉計出力信号を出力する、光学パスレングスユニットと、前記干渉計出力信号を受け取り、検出器出力信号を出力する検出器ユニットと、 前記検出器ユニットと連結されており、前記検出器出力信号を受け取る光学パスレングス位置決めユニットを有するスキャンアナライザおよび補正ユニットと、 前記光学パスレングススキャニングユニットに連結されており、前記光学パスレングススキャニングユニットを制御し、前記スキャンアナライザおよび補正ユニットに制御信号を出力するスキャニングユニットコントローラとを備えており、前記スキャンアナライザおよび補正ユニットは、前記制御信号および前記検出器出力信号を解析し、操作補正情報を決定する、装置。
IPC (3件):
G01N 21/17 620 ,  A61B 10/00 ,  G01B 11/24
FI (3件):
G01N 21/17 620 ,  A61B 10/00 E ,  G01B 11/24 D
Fターム (44件):
2F065AA01 ,  2F065AA52 ,  2F065BB05 ,  2F065BB17 ,  2F065BB27 ,  2F065CC16 ,  2F065DD06 ,  2F065FF12 ,  2F065FF51 ,  2F065LL02 ,  2F065LL12 ,  2F065LL62 ,  2F065MM13 ,  2F065MM23 ,  2F065MM28 ,  2F065QQ03 ,  2G059AA05 ,  2G059BB08 ,  2G059BB12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE02 ,  2G059EE05 ,  2G059EE09 ,  2G059FF01 ,  2G059FF02 ,  2G059FF08 ,  2G059FF09 ,  2G059GG01 ,  2G059GG04 ,  2G059GG10 ,  2G059JJ11 ,  2G059JJ12 ,  2G059JJ13 ,  2G059JJ17 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ22 ,  2G059KK01 ,  2G059KK03 ,  2G059LL03 ,  2G059MM01 ,  2G059MM05 ,  2G059MM09 ,  2G059MM14 ,  2G059NN01
引用特許:
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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