特許
J-GLOBAL ID：200903074623164860
電気力プローブ顕微鏡走査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
工業技術院電子技術総合研究所長
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-029511
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220110
出願日： 1995年02月17日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：
【要約】【構成】走査型電気力プローブ顕微鏡の試料4-探針2間の距離と板バネ1の2倍高調波振動振幅或は位相の関係を予め計測し、探針2を試料4に近づけ、振幅或は位相がある設定値になった所で表面電位、電荷、誘電率など幾種類かの電気的情報を収集した後、探針2を試料4から離し、次の測定点に移動し、再び試料4へ接近して前記同様な電気的情報の収集を行う。【効果】電気力プローブ顕微鏡において、表面の凹凸の激しい試料と探針の接触や探針位置制御の不安定性などの問題点が回避され、安定な走査が可能になると共に、一箇所の測定点で多くの電気的情報を収集することができ、更に検出系の時定数を長くとることによってノイズの大きな試料の高分解能観察が可能となる。
請求項（抜粋）：
試料-探針間の距離と板バネの2倍高調波振動振幅との関係を予め計測し、これより適当な試料-探針間の距離となる板バネの2倍高調波振動振幅の設定値を定め、探針を試料上の測定点に近づけてこの設定値になった所で、幾種類かの電気的情報を収集した後、探針を試料から離し、次の試料上の測定点に移動し、ここで上記同様な操作で電気的情報を収集することを特徴とする電気力プローブ顕微鏡走査方法。
IPC (3件)：
G01N 37/00
, G01B 7/34
, H01J 37/28
G01N 37/00 A
, G01B 7/34 Z
, H01J 37/28 Z
