特許
J-GLOBAL ID:200903074640964340
偏光方向制御素子及び露光装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
中島 淳 (外3名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-201407
公開番号(公開出願番号):特開2003-015087
出願日: 2001年07月02日
公開日(公表日): 2003年01月15日
要約:
【要約】【課題】 偏光依存性のある素子を用いた露光記録装置における記録画像の画質を向上することができる偏光方向制御素子を得ると共に、記録画像の画質を向上することができる露光装置を得る。【解決手段】 複数の半導体レーザLDから射出されたレーザビームLの光路上で、かつファイバーアレイ部30のレーザビームLの出射口と、レーザビームLを偏光方向が互いに直交する2つの光に分離する偏光分離素子36と、の間に、レーザビームLの一部が透過されると共に、偏光分離素子36により分離される光の偏光方向に対して結晶光軸が略45度傾斜するように1/2波長板を配置して構成した偏光方向制御素子34を配設する。
請求項(抜粋):
光を偏光方向が互いに直交する2つの光に分離する偏光分離素子の前記光の光軸方向上流側に設けられる偏光方向制御素子であって、前記偏光分離素子の光軸方向上流側に設けられた際に、前記光の一部が透過されると共に、前記偏光分離素子により分離される光の偏光方向に対して結晶光軸が45度を含む所定範囲の角度で傾斜するように1/2波長板を配置して構成した偏光方向制御素子。
IPC (3件):
G02B 27/28
, G02B 5/30
, G03B 27/32
FI (3件):
G02B 27/28 Z
, G02B 5/30
, G03B 27/32 H
Fターム (12件):
2H049BA05
, 2H049BA06
, 2H049BA42
, 2H049BB03
, 2H049BB05
, 2H049BC21
, 2H099BA09
, 2H099CA08
, 2H099CA11
, 2H099DA05
, 2H106AA71
, 2H106AB97
引用特許:
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