特許
J-GLOBAL ID：200903074654077737
チップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-026158
公開番号（公開出願番号）：特開2009-188157
出願日： 2008年02月06日
公開日（公表日）： 2009年08月20日
要約：
【課題】薄型のチップにダメージを与えることなく確実に効率よくシートから剥離させることができるチップ剥離装置およびチップ剥離方法ならびにチップピックアップ装置を提供することを目的とする。【解決手段】シート5からチップ6の剥離を促進する剥離促進機構7において、シート5の下面を吸着する吸着面22aから突出する第1昇降部材23、第1昇降部材23の上面から突出する第2昇降部材24および第2昇降部材24の上面から突出する第3昇降部材25を備えた構成とし、これらの昇降部材のそれぞれの相対昇降動作を所定の昇降順序で組み合わせた昇降パターンで行いながら吸着孔22bおよび吸着開口部23cから真空吸引してシート5を下方に撓ませてチップ6の外縁部を剥離の起点としてチップ6とシート5とを剥離させる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
シートに貼り付けられた板状のチップをピックアップするチップピックアップ装置において、取出しノズルによって前記チップをシート保持部に保持された前記シートから取り出す際に、前記シートの下面に当接して前記チップとシートとの剥離を促進するチップ剥離装置であって、
前記シートの下面を吸着する吸着面が設けられ前記シート保持部に対して相対的に昇降する吸着昇降部と、前記チップの外縁形状に対応して前記吸着面に設定された矩形状のチップ範囲の内側に前記チップ範囲よりも小さい開口サイズで開口する矩形開口部と、
前記矩形開口部に相対昇降動作が自在に嵌合して設けられ上昇状態において上面が前記吸着面から突出する第1昇降部材と、前記第1昇降部材に対して相対昇降動作が自在に設けられ上昇状態において上面が第1昇降部材の上面から突出する第2昇降部材と、前記第2昇降部材に対して相対昇降動作が自在に設けられ上昇状態において上面が第2昇降部材の上面から突出する第3昇降部材と、前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材をそれぞれ昇降させる第1昇降機構、第2昇降機構および第3昇降機構と、
前記吸着面において前記チップ範囲の外側に設けられた吸着孔と、前記第1昇降部材の上面において前記第3昇降部材を平面視して囲んで配置された吸着開口部と、前記吸着開口部および前記吸着孔から真空吸引する真空吸引手段とを備え、
前記第1昇降部材の平面形状は、前記矩形開口部に嵌合する第2昇降部材の外縁を構成する矩形外縁線のうち、少なくとも4辺の中点を含む直線部を外形線の一部とする形状であり、
前記第2昇降部材の平面形状は、前記第1昇降部材の上面において前記矩形外縁線のコーナ部を少なくとも含む外縁部から前記第3昇降部材を囲む前記吸着開口部に向けて内側に延出する形状であり、
前記第1昇降部材、第2昇降部材および第3昇降部材のそれぞれの相対昇降動作を所定の昇降順序と時間差を組み合わせた昇降パターンで行いながら前記吸着孔および吸着開口部から真空吸引して前記シートを下方に撓ませることにより、前記チップの外縁部を剥離の起点として前記チップと前記シートとを剥離させることを特徴とするチップ剥離装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 E
, H01L21/78 Y
5F031CA13
, 5F031DA15
, 5F031FA02
, 5F031GA23
, 5F031MA40
