特許

J-GLOBAL ID：200903074708511268

欠陥分類辞書教示装置

発明者： 内木 裕
出願人/特許権者： オリンパス株式会社
代理人 (5件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武 ,  青山 正和 ,  鈴木 三義 ,  高柴 忠夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-086833
公開番号（公開出願番号）：特開2005-274285
出願日： 2004年03月24日
公開日（公表日）： 2005年10月06日
要約：

【課題】 主に半導体ウェハ及び液晶パネルに含まれる欠陥を分類する際に利用する分類辞書を教示する欠陥分類辞書教示装置を提供する。【解決手段】 欠陥分類辞書教示装置1は、予め撮像したテスト画像から特徴量抽出手段によって抽出した複数の特徴量に基づいて、前記テスト画像に含まれる欠陥種別を判別する際、前記テスト画像の特徴量が前記欠陥種別の特徴量の範囲に含まれるか否かの閾値の値を分類辞書記憶部7に記憶する。また、欠陥種別のモデルとなる形状を表す欠陥モデル画像のデータを欠陥モデル画像記憶部8に記憶する。そして、検査者が、画面上の特徴量閾値調整部2の特徴量の閾値が調整した時には、欠陥モデル画像が調整後の前記閾値の範囲に含まれるように前記欠陥モデル画像が表すモデルの形状を画面上で変化させる。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

予め撮像したテスト画像を記憶するテスト画像記憶部と、前記テスト画像から特徴量抽出手段によって抽出した複数の特徴量に基づいて前記テスト画像が含む欠陥の種類を判別する分類処理手段と、を備えた欠陥分類辞書教示装置において、 前記テスト画像の特徴量が欠陥種別として分類される範囲に含まれるかを決定する閾値の値を記憶する分類辞書記憶部と、 前記欠陥種別のモデルとなる形状を表す欠陥モデル画像のデータを記憶する欠陥モデル画像記憶部と、 ユーザが入力部において入力した閾値調整指示を送信する特徴量閾値調整部と、 前記閾値調整指示を受信した場合に、前記欠陥モデル画像が表すモデルの形状が調整後の前記閾値によって該当する前記欠陥種別に含まれるように前記形状を変化させる分類辞書教示手段と、 前記欠陥種別の名称と対応する前記欠陥モデル画像のデータを前記分類辞書教示手段から受信し、前記欠陥モデル画像を画面に表示する欠陥モデル画像表示手段と、 を備えたことを特徴とする欠陥分類辞書教示装置。

IPC (4件)：

G01N21/956 ,  G06T1/00 ,  G06T7/00 ,  H01L21/66

FI (4件)：

G01N21/956 A ,  G06T1/00 305A ,  G06T7/00 300F ,  H01L21/66 J

Fターム (40件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051EC03 ,  2G051ED15 ,  2G051ED23 ,  4M106AA01 ,  4M106AA10 ,  4M106CA38 ,  4M106DJ20 ,  4M106DJ21 ,  4M106DJ28 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057DA03 ,  5B057DA04 ,  5B057DB02 ,  5B057DC05 ,  5B057DC06 ,  5B057DC09 ,  5B057DC14 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA02 ,  5L096FA02 ,  5L096FA04 ,  5L096FA18 ,  5L096FA32 ,  5L096FA33 ,  5L096FA59 ,  5L096FA60 ,  5L096FA64 ,  5L096GA34 ,  5L096JA11 ,  5L096KA13

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 欠陥分類装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-370218   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 教示用データ作成方法並びに欠陥分類方法およびその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-154865   出願人：株式会社日立製作所