特許

J-GLOBAL ID：200903074739161273

超音波洗浄装置

発明者： 松本 洋一郎 ,  池田 貞一郎 ,  吉澤 晋 ,  佐原 輝隆 ,  妻木 伸夫 ,  北田 由光
出願人/特許権者： 国立大学法人 東京大学 ,  日立プラント建設株式会社
代理人 (1件)： 松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-298104
公開番号（公開出願番号）：特開2006-110418
出願日： 2004年10月12日
公開日（公表日）： 2006年04月27日
要約：

【課題】ガラス基板の表面を傷つけたり、破損させたりすることなく、表面に付着した粒子や有機性の汚染物等を効果的に除去することができる。【解決手段】ガラス基板14の表面14Aに付着する汚れを超音波を付与した洗浄液で超音波洗浄する超音波洗浄装置10において、洗浄液11を貯留する洗浄槽12と、洗浄液11中にガラス基板14を支持する支持台16と、周波数1〜10MHzの第1の超音波と、該第1の超音波の2分の1以下の周波数の第2の超音波とをガラス基板14に向けて交互に集束させる超音波発生手段20と、集束させる集束位置Pからガラス基板14の表面14Aまでの距離を調整する集束位置調整手段22と、超音波発生手段20による超音波の効力が被洗浄物の表面に万遍なくいきわたるように支持台16を移動させる移動手段24と、で構成される。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

被洗浄物の表面に付着する汚れを超音波を付与した洗浄液で超音波洗浄する超音波洗浄装置において、 前記洗浄液を貯留する洗浄槽と、 前記洗浄液中に前記被洗浄物を支持する支持台と、 周波数1〜10MHzの第1の超音波と、該第1の超音波の2分の1以下の周波数の第2の超音波とを前記被洗浄物に向けて交互に集束させる超音波発生手段と、 前記集束させる集束位置から前記被洗浄物の表面までの距離を調整する集束位置調整手段と、 前記超音波発生手段による超音波の効力が前記被洗浄物の表面に万遍なくいきわたるように前記超音波発生手段及び前記支持台の少なくとも一方を移動させる移動手段と、を備えたことを特徴とする超音波洗浄装置。

IPC (5件)：

B08B 3/12 ,  B01F 1/00 ,  B01F 5/06 ,  B06B 1/06 ,  B08B 3/10

FI (7件)：

B08B3/12 B ,  B08B3/12 A ,  B08B3/12 C ,  B01F1/00 A ,  B01F5/06 ,  B06B1/06 Z ,  B08B3/10 Z

Fターム (19件)：

3B201AA02 ,  3B201AB14 ,  3B201AB37 ,  3B201AB44 ,  3B201BB02 ,  3B201BB84 ,  3B201BB85 ,  3B201BB88 ,  3B201BB92 ,  3B201BB98 ,  3B201CB01 ,  4G035AA01 ,  4G035AB28 ,  4G035AE13 ,  5D107AA20 ,  5D107BB11 ,  5D107CC01 ,  5D107CC12 ,  5D107FF01

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 超音波照射方法及び超音波照射装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-194791   出願人：吉澤晋, 松本洋一郎, 池田貞一郎