非接触式の基板乾燥装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：栂村繁郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-174675
公開番号（公開出願番号）：特開平7-012459
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1995年01月17日
要約：

【要約】【目的】非接触で基板を保持して乾燥させる。【構成】電気ヒータを埋設したホットプレートに、基板を空中で保持し、且つ乾燥を行うための温風を吹付ける多数の温風吹付口を開口し、ホットプレートの上方に静電気を中和させるイオナイザーを設置した非接触式の基板乾燥装置。

請求項（抜粋）：