外観検査方法及び外観検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：西川惠清 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-342839
公開番号（公開出願番号）：特開平10-185832
出願日： 1996年12月24日
公開日（公表日）： 1998年07月14日
要約：

【要約】【課題】欠陥の検出精度が高い外観検査方法及び外観検査装置を提供する。【解決手段】外観検査は、照明手段30によって被検査物10表面を照明した状態で、ハーフミラー40を介して被検査物10の所定検査領域を撮像手段20により撮像し、撮像手段20により撮像された画像を前記画像処理手段によって画像処理することで行われる。照明手段30は、被検査物10を中心として球面状に配置された複数の光源からなり、これら複数の光源は被検査物10の鉛直上方の位置を光源中心として対称な位置に配置されている。

請求項（抜粋）：

印刷回路基板などよりなる被検査物の所定検査領域における傷や異物等の欠陥を検出する外観検査方法であって、所定検査領域における微小な凹凸の全面に均一な光が照射されるように輝度分布させた照明手段により被検査物を照明し、被検査物体からの反射光をハーフミラーにより撮像手段に対する向きへ反射させ、前記撮像手段により所定検査領域を撮像することを特徴とする外観検査方法。

IPC (2件)：

G01N 21/88 , G01B 11/24

FI (2件)：

G01N 21/88 F , G01B 11/24 F

引用特許：

審査官引用 (7件)

イメージスキャナの照明装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-248039 出願人：株式会社三協精機製作所, グローリー工業株式会社
特開平1-314955
光学ユニットと照明方法およびその装置と検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-082265 出願人：日本アビオニクス株式会社

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