集塵/カウント装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-109582
公開番号（公開出願番号）：特開2001-289769
出願日： 2000年04月11日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】簡単で、再現性の良い測定を可能にしたドライ方式の集塵/カウント装置を提供する。【解決手段】密閉構造のチャンバーと、このチャンバーに設けられた空気流入口と、この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、前記チャンバーに設けられた空気流出口と、この空気流出口に接続されたサイクロン式の大流量パーティクル集塵/カウント装置と、前記チャンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられるターンテーブルと、前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルとを具備した事を特徴とする集塵/カウント装置である。

請求項（抜粋）：

密閉構造のチャンバーと、このチャンバーに設けられた空気流入口と、この気体流入口に設けられたウルパフィルタと、前記チャンバーに設けられた空気流出口と、この空気流出口に接続されたサイクロン式の大流量パーティクル集塵/カウント装置と、前記チャンバー内に設けられ集塵対象物が取付けられるターンテーブルと、前記集塵対象物に空気を吹き付けるノズルとを具備した事を特徴とする集塵/カウント装置。

IPC (2件)：

G01N 15/00 , G01N 1/02

FI (3件)：

G01N 15/00 C , G01N 1/02 B , G01N 1/02 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-208737
パーティクルサンプラ
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-162902 出願人：横河電機株式会社
ダストサンプラー
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-091126 出願人：横河電機株式会社

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