特許

J-GLOBAL ID：200903074837553260

有機絶縁膜材料、有機絶縁膜及びその製造方法

発明者： 山地 貴志 ,  榎 尚史
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-106988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-291712
出願日： 2000年04月07日
公開日（公表日）： 2001年10月19日
要約：

【要約】【課題】本発明は電気特性、熱特性、低吸水性に優れた有機絶縁膜材料、有機絶縁膜及びその製造方法を提供する事を目的とする。【解決手段】一般式(2)で表されるポリベンゾオキサゾール樹脂層が微細孔を有してなることを特徴とする有機絶縁膜材料。【化1】

請求項（抜粋）：

ポリベンゾオキサゾール前駆体のカルボン酸末端と水酸基を有するオリゴマーとにより合成されたことを特徴とする有機絶縁膜材料。

IPC (5件)：

H01L 21/312 ,  C08G 73/22 ,  H01B 3/30 ,  H05K 3/28 ,  H05K 3/46

FI (5件)：

H01L 21/312 A ,  C08G 73/22 ,  H01B 3/30 H ,  H05K 3/28 C ,  H05K 3/46 T

Fターム (75件)：

4J043PA08 ,  4J043PA19 ,  4J043QB15 ,  4J043QB33 ,  4J043SA06 ,  4J043SA54 ,  4J043SA71 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA26 ,  4J043TA47 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA122 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA151 ,  4J043UA221 ,  4J043UA262 ,  4J043UB051 ,  4J043UB052 ,  4J043UB061 ,  4J043UB071 ,  4J043UB121 ,  4J043UB122 ,  4J043UB131 ,  4J043UB401 ,  4J043UB402 ,  4J043VA021 ,  4J043VA022 ,  4J043VA041 ,  4J043VA042 ,  4J043VA061 ,  4J043VA081 ,  4J043VA102 ,  4J043WA03 ,  4J043WA04 ,  4J043WA05 ,  4J043WA13 ,  4J043WA25 ,  4J043XA16 ,  4J043XA19 ,  4J043YA06 ,  4J043YB07 ,  4J043YB22 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB11 ,  4J043ZB23 ,  4J043ZB50 ,  5E314AA34 ,  5E314GG02 ,  5E314GG03 ,  5E314GG06 ,  5E346AA12 ,  5E346AA26 ,  5E346CC08 ,  5E346DD03 ,  5E346EE31 ,  5E346HH01 ,  5E346HH11 ,  5E346HH16 ,  5F058AA10 ,  5F058AC10 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5G305AA07 ,  5G305AA11 ,  5G305AB10 ,  5G305AB15 ,  5G305AB24 ,  5G305AB26 ,  5G305BA09 ,  5G305CA32

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 低誘電率重合体
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-018243   出願人：東レ株式会社
• 半導体用有機絶縁膜材料及び製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-371775   出願人：住友ベークライト株式会社