特許
J-GLOBAL ID：200903074878742450
真空紫外光発生装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 勝 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-001290
公開番号（公開出願番号）：特開2000-200935
出願日： 1999年01月06日
公開日（公表日）： 2000年07月18日
要約：
【要約】【課題】 装置の運用コスト増加、大型化を招くことなく真空紫外光の発生効率を高める。【解決手段】 Nd:YAGレーザ第4高調波のレーザ光の入射部と出射部にコリメートレンズ2a,2dを有し、水素ガスを媒体とするラマンセル1の内部を、2枚の弗化カルシウムレンズ2b,2cにより、レンズ2a-2b間、及びレンズ2c-2d間の2段の作用区画を設ける。ラマンセル内の各レンズ2b、2cは、レンズ支持リング7によりラマンセル1の壁面との間に十分な空隙を挟んだ状態で支持する。ゲインを最大化するための作用区画の数は、各レンズの透過率をT、ラマン散乱作用区画の段数をn+1、レンズ枚数を2nとしたとき、全体の透過率T2nと段数(n+1)の積を最大とするnを選択することにより決定する。
請求項（抜粋）：
密閉された気体の媒体に励起光源からの光ビームを照射し、ラマン散乱を誘起して短波長光を発生する真空紫外光発生方法において、前記媒体の雰囲気内を光軸方向に連続する複数の励起光と媒質との作用区画に分割し、前記分割した各作用区画ごとにラマン散乱を誘起させることを特徴とする真空紫外光発生方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01S 3/30 Z
, H01S 3/094 Z
5F072AA04
, 5F072AB02
, 5F072JJ01
, 5F072JJ04
, 5F072JJ08
, 5F072KK30
, 5F072QQ07
, 5F072RR05
, 5F072YY06
