特許

J-GLOBAL ID：200903074896473157

マスク描画データの検証方法、マスク描画データの検証装置及びマスク描画データの検証プログラムを格納したコンピュータ読み取り可能な記録媒体

発明者： 渡邊 進
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-146582
公開番号（公開出願番号）：特開平10-334134
出願日： 1997年06月04日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 修正したパターンデータの検証作業を行うCADツールにおいて、検証処理時間を短縮し、かつ大容量の作業用記憶ファイルを不要とする。【解決手段】 データ変換部14でパターンデータからマスク描画データへの変換を行い、単位領域抽出部15において、修正前後のマスク描画データから修正パターンを含む単位領域を抽出し、論理差演算部16において、この抽出された単位領域のマスク描画データのみを図形データに変換して論理差演算処理を行うようにした。

請求項（抜粋）：

修正前後のマスク描画データを図形データに変換して論理差演算処理を行うマスク描画データの検証方法において、前記修正前後のマスク描画データから修正パターンを含む単位領域を抽出し、該単位領域のマスク描画データのみを図形データに変換して前記論理差演算処理を行うことを特徴とするマスク描画データの検証方法。

IPC (2件)：

G06F 17/50 ,  G03F 1/08

FI (2件)：

G06F 15/60 658 R ,  G03F 1/08 A

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開平3-208175
  
• 遅延時間計算装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-134523   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-227047
  

審査官引用 (3件)

• 特開平3-208175
  
• 遅延時間計算装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-134523   出願人：三菱電機株式会社
• 特開平3-227047