特許

J-GLOBAL ID：200903074904589860

走査型電子顕微鏡を用いた非真空環境内のサンプルの検査のための装置および方法

発明者： モーゼス,エリシャ ,  ジク,オリー ,  ティベルジュ,ステファン
出願人/特許権者： エダ リサーチ アンド ディベロップメント カンパニー,リミティド ,  エル-マル テクノロジーズ リミティド
代理人 (5件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  吉井 一男 ,  西山 雅也
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-547196
公開番号（公開出願番号）：特表2004-515049
出願日： 2001年11月30日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：

走査型電子顕微鏡と共に使用するのに適したチャンバ(34)。チャンバは、膜(36)で密封された少なくとも1つのアパーチャを含む。膜(36)は真空に耐えるように適合され、電子に対する透過性をもち、チャンバ(34)の内部は、前記真空から隔離されている。チャンバは、生きた細胞を内含する湿潤サンプル(32)を電子顕微鏡の下で検分できるようにするために有用である。

請求項（抜粋）：

走査型電子顕微鏡と共に使用するのに適したチャンバにおいて、膜で密封された少なくとも1つのアパーチャを含み、前記膜が真空に耐えるように適合されており、かつ電子に対する透過性を有し、内部が前記真空から隔離されているチャンバ。

IPC (6件)：

H01J37/28 ,  G01N1/28 ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20

FI (6件)：

H01J37/28 B ,  G01N23/225 ,  G01N23/227 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 Z ,  G01N1/28 F

Fターム (29件)：

2G001AA03 ,  2G001BA07 ,  2G001BA15 ,  2G001CA03 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001KA01 ,  2G001LA01 ,  2G001MA02 ,  2G052AA28 ,  2G052AD29 ,  2G052AD34 ,  2G052AD49 ,  2G052AD54 ,  2G052CA04 ,  2G052CA45 ,  2G052DA13 ,  2G052DA22 ,  2G052GA33 ,  2G052JA04 ,  2G052JA08 ,  2G052JA15 ,  2G052JA16 ,  5C001AA07 ,  5C001BB07 ,  5C001CC04 ,  5C033UU03 ,  5C033UU04

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 電子顕微鏡等の試料ホルダ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-005828   出願人：株式会社蛋白工学研究所, 日本電子株式会社
• 特開昭47-024961
  

引用文献：

審査官引用 (1件)

• ATOMOSPHERIC SCANNING ELECTRON MICROSCOPY