特許

J-GLOBAL ID：200903074909251272

回路基板形成用露光装置

発明者： 今井 光夫 ,  小林 俊一
出願人/特許権者： 株式会社フジクラ
代理人 (1件)： 志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-070578
公開番号（公開出願番号）：特開平6-282075
出願日： 1993年03月29日
公開日（公表日）： 1994年10月07日
要約：

【要約】【目的】 紫外線透過層の傷や塵埃等の発生要因を少なくし、実効露光エネルギーを向上させ、かつフォトマスクと基板とを確実に密着させることのできる回路基板形成用露光装置を提供する。【構成】 基板の表裏面に、それぞれフォトマスク、透明板がこの順に配されて回路基板形成ユニットが構成されている。また、下部透明板には、基板を囲む溝および開口溝が形成されている。回路基板形成用露光装置の焼枠部Bは露光用開口部21を有した一対のフレーム22a、22bで構成されており、前記回路基板形成ユニットはこれらフレーム22a、22bに挟まれて装着される。また、上部フレーム22aには、内側パッキン23、外側パッキン24が、下部フレーム23bには、下側パッキン25、突出壁26および排気孔27が設けられている。

請求項（抜粋）：

基板(16)の表裏面に形成した感光層に、フォトマスク(17a、17b)、透明板(18a、18b)をこの順に重ね合わせた回路基板形成ユニット(15)を一対のフレーム(22a、22b)の間に挟んだ状態として前記感光層を露光する回路基板形成用露光装置において、前記フレームには、前記回路基板形成ユニットのフォトマスクの配された部分に対応する位置に露光用開口部(21)が形成されるとともに、前記回路基板形成ユニットの周縁部両面に気密に当接する第1、第2の基板用シール突条(23、25)と、前記回路基板形成ユニットの周縁部から外方に離間した位置で両フレーム間を気密に密封するフレーム用シール突条(24、26)とが設けられ、かつこれらフレームの少なくとも一方には、前記各シール突条の間に形成される空間部(29)内を負圧排気する排気孔(27)が形成されていることを特徴とする回路基板形成用露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/20 ,  G03B 27/02 ,  H05K 3/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 移動棚の安全装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-340536   出願人：日本ファイリング株式会社
• 特開平1-276141
  
• 特開昭50-123939
  
• 特開昭56-070374