特許
J-GLOBAL ID：200903074945279957
金属部材内蔵セラミックス部材及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044190
公開番号（公開出願番号）：特開平11-228244
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月24日
要約：
【要約】【課題】セラミックス基材へのモリブデン元素の拡散を防止して、体積抵抗の変化や絶縁抵抗の低下などがない、安定な金属部材内蔵のセラミックス部材を提供する。【解決手段】少なくともモリブデン元素を含んでなる金属部材を内蔵したセラミックス部材において、前記金属部材をシリコン粉末中に埋設した熱処理、あるいはシランガス(SiH4 )を用いたプラズマ処理などにより、前記金属部材の少なくとも表面に、基材となるセラミックスへのモリブデン元素の拡散を防止するためのモリブデン・シリサイド相を形成する。
請求項（抜粋）：
少なくともモリブデンを含んでなる金属部材を内蔵したセラミックス部材において、前記金属部材の少なくとも表面に、基材となるセラミックスへのモリブデンの拡散を防止するためのモリブデン・シリサイド相を有することを特徴とする、金属部材内蔵セラミックス部材。
引用特許：
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